1、選址原則：無塵車間地址的選擇應符合有利生產、方便生活、節省投資和經營費用的原則。
廠址應設在自然環境和水質較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利於生產、節能的區域,應遠離大量散發粉塵、煙霧、有毒害氣體和微生物的區域,如機場、鐵路、碼頭、交通要道等,並在汙染源和全年主導風向的上風側麵,且有一定的防護距離。無塵車間與交通主幹道間距宜50米以上 。
2、動線規劃要點：要檢討分析人車路徑、配管係統、排氣管道、原料搬運和作業的流程等，盡量縮短動線，並避免交叉，以防止交叉汙染。作業者、化學藥品、材料等動線勿集中；無塵車間四周，宜設緩衝區；製造裝置的出入，不要對作業產生大影響。
3、有些空氣淨化係統的空氣，如經處理仍不能避免交叉汙染時，則不能循環使用：固體物料的粉碎、稱重、配料、混合、製料、壓片、包衣、灌裝等工序；用有機溶媒精製的原料藥精製、幹燥工序；放射性藥品生產區；病原體操作區；工藝過程中產生大量有害物質、揮發性氣體的生產工序；固體口服製劑的顆料。
4、節能原則：無塵車間裏存在大量可以節約能源的地方，例如暖氣、通風和空調（HVAC）、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。HVAC係統消耗的電力超過了整座晶片製造廠用電量的一半。
之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧後期運行費用。高效率的設計和高效率設備需要很大的前期投入。
那種“小處節約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經濟漩渦當中。
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